创造气氛保护环境、协助客户创造价值
Lab2000单工位一
2018新款 Lab2000
Lab2000-2400四工
Lab2000单工位分
ATTO10-R 高真空
Mop300-O手动高真
技术参数：
1 本底真空：10-7 Torr；
2 单基片设计，尺寸可定制；
3 基片可旋转并加热：300℃/500℃/800℃；
4 溅射：1-3支磁控溅射靶枪，可共溅射；
5 电子束蒸发：4-6坩埚
6 热蒸发：1-3蒸发源；
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